- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
-
集成电路制造产业级设备装配及应用平台，是基于集成电路产业端工艺设备人才技能实际需求,对主流产业级设备进行真机拆解，按比例设计而成的创新型教学设备。
它能够让学生了解产业级设备的工艺原理、设备主要模块构成及晶圆、掩膜版等关键物料相关知识。能够进行产业级设备核心工艺参数设定调试设备工作流程设定等操作。能够进行产业设备机核心机构的拆装及机械构件调整实操等。进行电控系统调试测试，PLC编程设计与调试、人机界面HMI组态与 PLC控制操作。进行产业级设备日常维护保养规范、掌握典型机电运动系统日常维护保养方法。 -
半导体高端装备实训机拆装系统VE-OM
所属分类
关键词
合作意向表
应用行业
—— 为中国集成电路制造提供可靠设备，用精密测量赋能科技创新！
微信公众号
bilibili账号